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  掃描開爾文探針系統

 掃描開爾文探針系統

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是一種最靈敏的表面分析技術。

我們的開爾文探針系統包括:

□單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);

□掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境);

□超高真空(UHV)開爾文探針;

□濕度控制的腐蝕開爾文探針;

 

掃描開爾文探針系統

ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統,它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置,其規格如下:

2毫米,50微米探針;

□功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內;

□表面勢和樣品形貌3維地圖;

□探針掃描或樣品掃描選配;

□彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置;

□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌);

□備用的針尖放大器;

 

儀器的特色

□全球第一臺商用的完全意義上的開爾文探針系統;

□最高分辨率的功函數和表面勢,最好的穩定性和數據重現性;

□非零專利技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作,與基于零信號原(null-based,LIA)的系統相比,不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度;

□高度調節專利技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受               樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移;

□該領域內,擁有最好的信噪比;

□快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間,遠快于其他公司產品;

□功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器,與通常的壓電驅動器相比,VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;

□所有開爾文探針參數的全數字控制;

ON

非零探測   Off Null detection

HR

高度調節模式  Height Regulation mode

SM

實際開爾文探針信號監控   Monitoring of the actual Kelvin probe signal

UC

用戶通道,同時測量外部參數 User Channels, simultaneous measurement of external parameters

DC

電流探測系統去除漂移效應 Current Detection system rejects stray capacity effects

PP

平行板震動模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode

SA

信號平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)

WA

功函數平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting

DC

所有探針及探測參數的數字控制Digital Control of all Probe and Detection Parameters

QT

針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution

DE  

數據輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software

OC

輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit

FC

法拉第籠(電磁干擾防護罩) Faraday Cage (EMI Shield)

RS

-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample

額外選配項

SPV

表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package

RH

相對濕度腔 Relative Humidity Chamber

AC

控制氣體進口的環境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet

EDS

外部數據示波鏡 External Digital Oscilloscope

OPT

彩色相機 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts

ST

針尖置換 Replacement Tips

GCT

鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips

XYZ

25.4毫米手動3維控制臺 3-axis 25.4 mm Manual Stage

 

應用領域

吸附,電池系統,生物學和生物技術,催化作用,電荷分析,涂層,腐蝕,沉積,偶極層形成,顯示技術,教育,光/熱散發,費米級掃描,燃料電池,離子化,MEMs,金屬,微電子,納米技術,Oleds,相轉變,感光染色,光伏譜學,高分子半導體,焦熱電,半導體,傳感器,皮膚,太陽能電池,表面污染,表面化學,表面光伏,表面勢,表面物理,薄膜,真空研究,功函數工程學;


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